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1200-PE60 PECVD系统

产品描述

    PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应,所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(PECVD)。

    该型号PECVD综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点,在PECVD前端加入了气体预热区,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。

技术参数


              管式炉(加热部分)参数介绍
炉膛模式开启式炉膛
显示模式7英寸触摸屏
极限温度1200℃
工作温度≤1150℃
升温速率建议10℃/Min   Max:30℃/Min
炉体移动无极调速,根据工艺自动移动
辅助预热加热区200mm(足够长度才能保证温度准确度)
温区长度440mm(沉积区),200mm(预热区)
炉管规格80*2000 mm
控温精度±1℃
密封方式快捷法兰连接密封
温度曲线30段"时间—温度曲线"任意可设
控制系统加热控制、炉体移动、流量控制、真空系统按照设定一键自动完成整个工艺处理
预存曲线可预存15条工艺曲线,直接保存并随时调用
测温元件K型热电偶
炉膛材料高纯氧化铝纤维
加热材料掺钼铁铬铝合金加热丝
             射频电源功率
信号频率13.56 MHz±0.005%
功率输出范围0-500W
功率稳定度±0.1%
谐波分量≤-50dbc
供电电压单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ
整机效率>=70%
功率因素>=90%
冷却方式强制风冷
控制方式预先设定功率大小,自动运行
真空部分
真空度控制自动平衡到用户设定真空度。
正压保护工作腔内压力实时监测,大于设定值自动放气
工作电电压220V±10%  50~60HZ
功率500W
抽气速率2L\s
进气口口径KF25
排气口口径KF25
转速1450rpm
系统真空度≤10Pa
             三路供气系统
流量计类型质子流量控制器
准确度±0.35%
重复精度±0.2%
响应时间气特性:1 Sec
工作压差范围0.1~0.5 MPa
气路管道304不锈钢
连接接通双卡套不锈钢接头
气体种类氮气、氩气、甲烷、二氧化碳、氢气等等(50~500sccm)
进气控制每路气体均可定时通断,根据工艺自动切换所需气体


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