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三路质子气体流量控制器

产品描述

三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境. 
该气体流量控制器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.


应用范围:
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备 
3.材料表面处理 
4.气体燃烧控制 
5.混和配气系统 
6.环境检测与分析设备 
7.分析仪器的气体流量计量与控制 8.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

技术参数

产品名称三路质子气体流量控制器
流量计类型质子流量计
流量计管芯304不锈钢
调节阀类型电磁调节阀
管道常态常闭
流量计外壳黑色铝壳
气体种类3种
接口尺寸1/4"
测量精度±1.0%F.S
线性度±0.5%F.S
重复精度±0.2%F.S
压力范围-0.1-0.15 MPa
A路气体测量范围0~100SCCM
B路气体测量范围0~200SCCM
C路气体测量范围0~500SCCM
流量控制范围2%~100%
零点温漂0.6F.S(15~35℃)
响应时间2S
工作环境温度(15~50℃)
精度保证温度(15~35℃)
供电电源220V 50Hz
设备重量43kg



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